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【應用案例】半導體行業EtherCAT總線驅控一體轉臺應用

2023-08-23 08:45:40   編輯:lwy   

驅動器

  作為半導體制造工藝中的重要一環,單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后,表面已經受到嚴重的玷污,因此有一個很重要的工藝段便是清洗,其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。

  凱福科技針對單晶硅片制造清洗工藝提出了SSDC集成式EtherCAT總線驅動器+YKW系列一體式轉臺的方案。具有尺寸更小,速度波動平穩等特點。

工藝流程圖

驅動器

案例展示

驅動器

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方案優勢

驅控一體尺寸更小

驅動器

速度更穩

驅動器

-【End】-


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